νλ―Έκ²½μ μ΄μ©ν μ¬μ λΆμμ λν μ¬μΈ΅ νꡬ. μ μΈκ³ λ€μν μ°μ λΆμΌμ κΈ°μ , μμ© λ° μ€μμ±μ λ€λ£Ήλλ€.
νλ―Έκ²½μ μ΄μ©ν μ¬μ λΆμ: μ’ ν© κ°μ΄λ
νλ―Έκ²½μ μ΄μ©ν μ¬μ λΆμμ λ€μν μ°μ λΆμΌμμ μ¬λ¬ μ’ λ₯μ μ¬μ λ₯Ό μλ³, νΉμ±ν λ° λΆμνλ λ° μ¬μ©λλ κ°λ ₯ν κΈ°μ μ λλ€. μ¬μ , λ²μνλΆν° μ¬λ£ κ³Όν, νκ²½ λͺ¨λν°λ§μ μ΄λ₯΄κΈ°κΉμ§, λ―ΈμΈν μμ€μμ μ¬μ λ₯Ό κ²μ¬νλ λ₯λ ₯μ μ¬μ μ ꡬμ±, ꡬ쑰 λ° νΉμ±μ λν μ€μν ν΅μ°°λ ₯μ μ 곡ν©λλ€. μ΄ μ’ ν© κ°μ΄λμμλ νλ―Έκ²½μ μ΄μ©ν μ¬μ λΆμμ μ리, κΈ°μ , μμ© λ° μ€μμ±μ λν΄ μμΈν μμλ³΄κ² μ΅λλ€.
μ¬μ λΆμμ΄λ 무μμΈκ°?
μ¬μ λΆμμ λ§μ μ¬λ£μ κ΅¬μ± μμμΈ κΈΈκ³ μ€ κ°μ ꡬ쑰μ μ¬μ λ₯Ό μλ³νκ³ νΉμ±μ λΆμνλ κ³Όμ μ λλ€. μ΄λ¬ν μ¬μ λ μ²μ° μ¬μ (μ: λ©΄, μλͺ¨, μ€ν¬) λλ ν©μ± μ¬μ (μ: ν΄λ¦¬μμ€ν°, λμΌλ‘ , μν¬λ¦΄)μΌ μ μμ΅λλ€. μ΄ λΆμμλ μ¬μ μ ννμ ꡬμ±, 물리μ νΉμ± λ° λ―ΈμΈν νΉμ§μ κ²°μ νλ κ³Όμ μ΄ ν¬ν¨λ©λλ€.
νλ―Έκ²½ κ²μ¬λ μ‘μμΌλ‘λ λ³Ό μ μλ μ¬μ ꡬ쑰μ λ―ΈμΈν μΈλΆ μ¬νμ κ΄μ°°ν μ μκ² ν΄μ£ΌκΈ° λλ¬Έμ μ¬μ λΆμμμ μ€μ¬μ μΈ μν μ ν©λλ€. μ¬κΈ°μλ νλ©΄ νν, λ¨λ©΄ λͺ¨μ λ° λ΄λΆ ꡬ쑰μ κ°μ νΉμ§μ΄ ν¬ν¨λ©λλ€.
μ¬μ λΆμμ΄ μ€μν μ΄μ λ 무μμΈκ°?
μ¬μ λΆμμ λ€μν μ°μ λΆμΌμμ μ¬λ¬ κ°μ§ μ΄μ λ‘ νμμ μ λλ€:
- μ¬μ μ°μ : νμ§ κ΄λ¦¬ 보μ₯, νΌλ°© μ¬μ μλ³ λ° λ€μν μ§λ¬Όμ μ±λ₯ νΉμ± μ΄ν΄.
- λ²κ³Όν: λ²μ£ νμ₯μμ λ°κ²¬λ μ¬μ λ₯Ό μλ³νκ³ λΉκ΅νμ¬ μ©μμλ νΌν΄μλ₯Ό νμ₯ λλ μλ‘ μ°κ²°.
- μ¬λ£ κ³Όν: λ³΅ν© μ¬λ£μ νΉμ± λΆμ, κ²°ν¨ μλ³ λ° λ€μν 쑰건 νμμ μ¬μ μ κ±°λ μ΄ν΄.
- νκ²½ λͺ¨λν°λ§: μλ©΄κ³Ό κ°μ 곡기 μ€ μ¬μ λ₯Ό μλ³ λ° μ λννκ³ μ¬μ νκΈ°λ¬Όμ νκ²½μ μν₯ νκ°.
- μμ ν 보쑴: μμ¬μ μΈ μ§λ¬Ό, κ·Έλ¦Ό λ° κΈ°ν μ λ¬Όμ μ¬μ©λ μ¬μ λ₯Ό μλ³νμ¬ λ³΄μ‘΄ λ° λ³΅μ μμ μ μ 보 μ 곡.
- μ μ½ μ°μ : μ¬κ³Ό 곡μ μ μ¬μ©λλ μ¬μ λ₯Ό λΆμνκ³ μμ½νμ μλ 보μ₯.
μ¬μ λΆμμ μν νλ―Έκ²½ κΈ°μ
μ¬μ λΆμμλ μ¬λ¬ νλ―Έκ²½ κΈ°μ μ΄ μ¬μ©λλ©°, κ° κΈ°μ μ κ³ μ ν μ₯μ κ³Ό κΈ°λ₯μ μ 곡ν©λλ€. μ¬κΈ°μλ λ€μμ΄ ν¬ν¨λ©λλ€:
1. κ΄ν νλ―Έκ²½
κ΄ν νλ―Έκ²½μ μ¬μ λΆμμ κ°μ₯ κΈ°λ³Έμ μ΄κ³ λ리 μ¬μ©λλ κΈ°μ μ λλ€. κ°μκ΄μ μ μ¬μ©νμ¬ μλ£λ₯Ό λΉμΆκ³ λ μ¦ μμ€ν μ μ¬μ©νμ¬ μ΄λ―Έμ§λ₯Ό νλν©λλ€. μ£Όμ κ΄ν νλ―Έκ²½ κΈ°μ μ λ€μκ³Ό κ°μ΅λλ€:
- λͺ μμΌ νλ―Έκ²½: μλ£λ₯Ό μλμμ λΉμΆκ³ ν¬κ³Όκ΄μΌλ‘ μ΄λ―Έμ§λ₯Ό νμ±νλ νμ€ κΈ°μ μ λλ€. μ¬μ μ μ 체μ μΈ λͺ¨μκ³Ό ꡬ쑰λ₯Ό κ΄μ°°νλ λ° μ μ©ν©λλ€.
- μμμΌ νλ―Έκ²½: μλ£λ₯Ό λΉμ€λ¬ν κ°λμμ λΉμΆμ΄ μλ£μ μν΄ μ°λλ λΉλ§ λλ¬Όλ μ¦κ° μμ§ν©λλ€. μ΄ κΈ°μ μ μ¬μ μ λ―ΈμΈν μΈλΆ μ¬νκ³Ό νλ©΄ νΉμ§μ μκ°ννλ λ° νμν©λλ€.
- μμμ°¨ νλ―Έκ²½: μλ£λ₯Ό ν΅κ³Όνλ λΉμ μμ λ³νλ₯Ό μ΄λ―Έμ§μ μ§ν λ³νλ‘ λ³ννμ¬ λλΉλ₯Ό ν₯μμν€κ³ ν¬λͺ ν μ¬μ λ₯Ό λ μ 보μ΄κ² ν©λλ€.
- νΈκ΄ νλ―Έκ²½(PLM): νΈκ΄μ μ¬μ©νμ¬ λ³΅κ΅΄μ λ° κ΅΄μ λ₯ κ³Ό κ°μ μ¬μ μ κ΄νμ νΉμ±μ λΆμν©λλ€. μ΄λ κ²°μ μ± μ¬μ λ₯Ό μλ³νκ³ λ€μν μ νμ ν©μ± μ¬μ λ₯Ό ꡬλ³νλ λ° νΉν μ μ©ν©λλ€.
μμ: λ²κ³Όνμμ PLMμ μλ₯μμ λ°κ²¬λλ ν΄λ¦¬μμ€ν°, λμΌλ‘ , μν¬λ¦΄κ³Ό κ°μ λ€μν μ’ λ₯μ ν©μ± μ¬μ λ₯Ό μλ³νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€. νΈκ΄ μλμμ κ΄μ°°λλ 볡꡴μ ν¨ν΄μ κ° μ¬μ μ νμ κ³ μ νμ¬ μ νν μλ³μ κ°λ₯νκ² ν©λλ€.
2. μ£Όμ¬ μ μ νλ―Έκ²½(SEM)
μ£Όμ¬ μ μ νλ―Έκ²½(SEM)μ μ§μ€λ μ μ λΉμ μ¬μ©νμ¬ μλ£ νλ©΄μ μ€μΊνμ¬ μ¬μ νλ©΄ ννμ κ³ ν΄μλ μ΄λ―Έμ§λ₯Ό μμ±ν©λλ€. SEMμ κ΄ν νλ―Έκ²½λ³΄λ€ ν¨μ¬ λμ λ°°μ¨κ³Ό ν΄μλλ₯Ό μ 곡νμ¬ λλ Έ μ€μΌμΌμ νΉμ§μ μκ°νν μ μμ΅λλ€.
- μ΄μ°¨ μ μ μ΄λ―Έμ§(SEI): μλ£ νλ©΄μμ λ°©μΆλλ μ΄μ°¨ μ μλ₯Ό κ°μ§νμ¬ μ¬μ μ μ§ν λ° νλ©΄ νΉμ§μ λν μ 보λ₯Ό μ 곡ν©λλ€.
- νλ°© μ°λ μ μ μ΄λ―Έμ§(BSE): μλ£ λ΄ μμμ μμ λ²νΈμ λ―Όκ°ν νλ°© μ°λ μ μλ₯Ό κ°μ§ν©λλ€. μ΄ κΈ°μ μ μ¬μ λ΄μ μ‘°μ± λ³νλ₯Ό μλ³νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€.
- μλμ§ λΆμ°ν Xμ λΆκ΄λ²(EDS): μ¬μ μ μμ μ‘°μ±μ κ²°μ νκΈ° μν΄ SEMκ³Ό ν¨κ» μμ£Ό μ¬μ©λλ λΆμ κΈ°μ μ λλ€.
μμ: μ¬λ£ κ³Όνμμ SEMμ λ³΅ν© μ¬λ£μ μ¬μ©λλ νμ μ¬μ μ νλ©΄μ κ²μ¬νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€. SEM μ΄λ―Έμ§λ λ³΅ν© μ¬λ£μ κΈ°κ³μ νΉμ±μ μν₯μ λ―ΈμΉ μ μλ κ· μ΄μ΄λ 곡극과 κ°μ κ²°ν¨μ λλ¬λΌ μ μμ΅λλ€.
3. ν¬κ³Ό μ μ νλ―Έκ²½(TEM)
ν¬κ³Ό μ μ νλ―Έκ²½(TEM)μ μ΄λ°ν μλ£λ₯Ό ν΅κ³Όνλ μ μ λΉμ μ¬μ©νμ¬ μ΄λ―Έμ§λ₯Ό μμ±ν©λλ€. TEMμ λͺ¨λ νλ―Έκ²½ κΈ°μ μ€ κ°μ₯ λμ ν΄μλλ₯Ό μ 곡νμ¬ μμ μμ€μμ μ¬μ μ λ΄λΆ ꡬ쑰λ₯Ό μκ°νν μ μμ΅λλ€.
μμ: λλ Έ κΈ°μ μμ TEMμ νμ λλ ΈνλΈλ κ³ λΆμ λλ Έμ¬μ μ κ°μ λλ Έμ¬μ μ ꡬ쑰λ₯Ό κ²μ¬νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€. TEM μ΄λ―Έμ§λ μ¬μ λ΄ μμμ λ°°μ΄μ 보μ¬μ£Όκ³ κ²°ν¨μ΄λ λΆμλ¬Όμ μλ³ν μ μμ΅λλ€.
4. μμλ ₯ νλ―Έκ²½(AFM)
μμλ ₯ νλ―Έκ²½(AFM)μ λ μΉ΄λ‘μ΄ νμ μ¬μ©νμ¬ μλ£ νλ©΄μ μ€μΊνκ³ νκ³Ό μλ£ μ¬μ΄μ νμ μΈ‘μ ν©λλ€. AFMμ μ¬μ νλ©΄μ κ³ ν΄μλ μ΄λ―Έμ§λ₯Ό μ 곡νκ³ κ°μ± λ° μ μ°©λ ₯κ³Ό κ°μ κΈ°κ³μ νΉμ±μ μΈ‘μ ν μ μμ΅λλ€.
μμ: μ¬μ μ°μ μμ AFMμ λ€μν μ’ λ₯μ μ¬μ μ κ±°μΉ κΈ°μ κ°μ±μ μΈ‘μ νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€. μ΄ μ 보λ μ μ‘° 곡μ μ μ΅μ ννκ³ μ¬μ μ νμ μ±λ₯μ ν₯μμν€λ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€.
5. 곡μ΄μ νλ―Έκ²½
곡μ΄μ νλ―Έκ²½μ λ μ΄μ λΉμ μ¬μ©νμ¬ μλ£λ₯Ό μ€μΊνκ³ μΌλ ¨μ κ΄ν λ¨λ©΄μ μμ±νλ©°, μ΄λ₯Ό κ²°ν©νμ¬ μ¬μ μ 3μ°¨μ μ΄λ―Έμ§λ₯Ό λ§λ€ μ μμ΅λλ€. 곡μ΄μ νλ―Έκ²½μ λκ»κ±°λ λΆν¬λͺ ν μ¬μ μ λ΄λΆ ꡬ쑰λ₯Ό κ²μ¬νλ λ° νΉν μ μ©ν©λλ€.
μμ: μλ¬Όνμμ 곡μ΄μ νλ―Έκ²½μ μ‘°μ§ λ΄ μ½λΌκ² μ¬μ μ ꡬ쑰λ₯Ό κ²μ¬νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€. 곡μ΄μ μ΄λ―Έμ§λ μ½λΌκ² μ¬μ μ λ°°μ΄μ 보μ¬μ£Όκ³ ꡬ쑰μ μ΄μμ μλ³ν μ μμ΅λλ€.
μ¬μ λΆμμ μν μλ£ μ€λΉ
μ¬μ λΆμμμ μ ννκ³ μ λ’°ν μ μλ κ²°κ³Όλ₯Ό μ»μΌλ €λ©΄ μ μ ν μλ£ μ€λΉκ° μ€μν©λλ€. νΉμ μ€λΉ λ°©λ²μ μ¬μ μ μ νκ³Ό μ¬μ©λλ νλ―Έκ²½ κΈ°μ μ λ°λΌ λ¬λΌμ§λλ€. μΌλ°μ μΈ μλ£ μ€λΉ κΈ°μ μ λ€μκ³Ό κ°μ΅λλ€:
- λ§μ΄ν : μ¬μ λ μΌλ°μ μΌλ‘ λ¬Ό, κΈλ¦¬μΈλ¦° λλ κ΅΄μ λ₯ μ‘체μ κ°μ μ μ ν λ§μ΄ν 맀체λ₯Ό μ¬μ©νμ¬ μ 리 μ¬λΌμ΄λμ λ§μ΄νΈλ©λλ€. λ§μ΄ν 맀체λ λλΉλ₯Ό ν₯μμν€κΈ° μν΄ μ¬μ μ κ΅΄μ λ₯ κ³Ό λ€λ₯Έ κ΅΄μ λ₯ μ κ°μ ΈμΌ ν©λλ€.
- μ λ¨: TEM λ° μΌλΆ λ€λ₯Έ κΈ°μ μ κ²½μ°, μ¬μ λ₯Ό λ§μ΄ν¬λ‘ν°μ μ¬μ©νμ¬ μ΄λ°ν μ¬λΌμ΄μ€λ‘ μ λ¨ν΄μΌ ν©λλ€. μ΄λ₯Ό ν΅ν΄ μ μ λΉμ΄ μλ£λ₯Ό ν΅κ³Όνμ¬ μ΄λ―Έμ§λ₯Ό μμ±ν μ μμ΅λλ€.
- μ½ν : SEMμ κ²½μ°, λΉμ λμ± μ¬μ λ λμ μ λ°©μ§νκ³ μ΄λ―Έμ§ νμ§μ ν₯μμν€κΈ° μν΄ κΈμ΄λ λ°±κΈκ³Ό κ°μ μ λμ± λ¬Όμ§μ μμ μΈ΅μΌλ‘ μ½ν ν΄μΌ ν©λλ€.
- λΆν΄: κ²½μ°μ λ°λΌ λΆμμ μν΄ μ¬μ λ₯Ό λΆλ¦¬νκΈ° μν΄ μ£Όλ³ λ§€νΈλ¦μ€λ₯Ό λΆν΄ν΄μΌ ν μ μμ΅λλ€. μ΄λ νν μμ½μ΄λ ν¨μλ₯Ό μ¬μ©νμ¬ μνν μ μμ΅λλ€.
νλ―Έκ²½μ 보μνλ λΆκ΄ κΈ°μ
νλ―Έκ²½μ΄ μ¬μ μ λν μκ°μ μ 보λ₯Ό μ 곡νλ λ°λ©΄, λΆκ΄ κΈ°μ μ μ¬μ μ ννμ μ‘°μ±κ³Ό λΆμ ꡬ쑰μ λν 보μμ μΈ μ 보λ₯Ό μ 곡ν©λλ€. μΌλ°μ μΌλ‘ μ¬μ©λλ λΆκ΄ κΈ°μ μ λ€μκ³Ό κ°μ΅λλ€:
1. νΈλ¦¬μ λ³ν μ μΈμ λΆκ΄λ²(FTIR)
FTIR λΆκ΄λ²μ μλ£μ μν μ μΈμ ν‘μλ₯Ό μΈ‘μ νμ¬ μ¬μ μ μ‘΄μ¬νλ νν κ²°ν© μ νμ λν μ 보λ₯Ό μ 곡ν©λλ€. μ΄ κΈ°μ μ ν©μ± μ¬μ μ κ³ λΆμ μ‘°μ±μ μλ³νκ³ λ€μν μ νμ μ²μ° μ¬μ λ₯Ό ꡬλ³νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€.
μμ: FTIRμ μμ€ν° κ²°ν©κ³Ό κ΄λ ¨λ κ³ μ ν ν‘μ λ°΄λλ₯Ό κΈ°λ°μΌλ‘ λ€μν μ νμ ν΄λ¦¬μμ€ν° μ¬μ λ₯Ό ꡬλ³ν μ μμ΅λλ€.
2. λΌλ§ λΆκ΄λ²
λΌλ§ λΆκ΄λ²μ μλ£μ μν λ μ΄μ κ΄μ μ°λμ μΈ‘μ νμ¬ μ¬μ λ΄ λΆμμ μ§λ λͺ¨λμ λν μ 보λ₯Ό μ 곡ν©λλ€. λΌλ§ λΆκ΄λ²μ κ²°μ μ± λ¬Όμ§μ μλ³νκ³ λ¬Όμ§μ λ€λ₯Έ λ€ν체λ₯Ό ꡬλ³νλ λ° νΉν μ μ©ν©λλ€.
μμ: λΌλ§ λΆκ΄λ²μ λ©΄ μ¬μ μ μ λ£°λ‘μ€μ€ κ²°μ ννλ₯Ό μλ³νμ¬ μ±μλμ νμ§μ λν μ 보λ₯Ό μ 곡νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€.
3. Xμ νμ (XRD)
XRDλ μλ£μ μν Xμ νμ μ μΈ‘μ νμ¬ μ¬μ μ κ²°μ ꡬ쑰μ λν μ 보λ₯Ό μ 곡ν©λλ€. XRDλ μ¬μ μ κ²°μ νλμ λ°°ν₯λλ₯Ό κ²°μ νλ λ° μ¬μ©λ μ μμΌλ©°, μ΄λ κΈ°κ³μ νΉμ±μ μν₯μ λ―ΈμΉ μ μμ΅λλ€.
μμ: XRDλ ν΄λ¦¬μνΈλ μ¬μ μ κ°λμ κ°μ±μ μν₯μ λ―ΈμΉλ κ²°μ νλλ₯Ό κ²°μ νλ λ° μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€.
λ€μν μ°μ λΆμΌμμμ μ¬μ λΆμ μμ©
μ¬μ λΆμμ λ€μμ ν¬ν¨ν κ΄λ²μν μ°μ μμ μ¬μ©λ©λλ€:
1. μ¬μ μ°μ
μ¬μ μ°μ μμ μ¬μ λΆμμ λ€μμ μ¬μ©λ©λλ€:
- νμ§ κ΄λ¦¬: μ¬μ κ° μλ, κ°λ λ° μμμ λν μ§μ λ νμ€μ μΆ©μ‘±νλμ§ νμΈ.
- μ¬μ μλ³: νΌλ°© μ¬μ λ₯Ό μλ³νκ³ μ§λ¬Όμ κ΅¬μ± κ²°μ .
- μ±λ₯ ν μ€νΈ: μ¬μ λ° μ§λ¬Όμ λ΄κ΅¬μ±, λ΄λ§λͺ¨μ± λ° κΈ°ν μ±λ₯ νΉμ± νκ°.
- μ°κ΅¬ κ°λ°: κ°μ λ νΉμ±μ κ°μ§ μλ‘μ΄ μ¬μ λ° μ§λ¬Ό κ°λ°.
μμ: μ¬μ μ μ‘°μ 체λ λ©΄ μ¬μ ν λ¬Άμμ μ¨μ μ‘°κ°μ΄λ ν©μ± μ¬μ μ κ°μ μ€μΌ λ¬Όμ§μ΄ μλμ§ νμΈνκΈ° μν΄ μ¬μ λΆμμ μ¬μ©ν μ μμ΅λλ€.
2. λ²κ³Όν
λ²κ³Όνμμ μ¬μ λΆμμ λ€μμ μ¬μ©λ©λλ€:
- λ²μ£ νμ₯ μμ¬: λ²μ£ νμ₯μμ λ°κ²¬λ μ¬μ λ₯Ό μλ³νκ³ λΉκ΅νμ¬ μ©μμλ νΌν΄μλ₯Ό νμ₯ λλ μλ‘ μ°κ²°.
- μ¬μ μλ³: μ¬μ κ° μ λν μ§λ¬Όμ μ ν μλ³.
- μλ₯ μ¬κ΅¬μ±: μ¬μ μ¦κ±°λ₯Ό κΈ°λ°μΌλ‘ μμλκ±°λ μ°’μ΄μ§ μλ₯ μ¬κ΅¬μ±.
μμ: λ²κ³Όνμλ€μ μ©μμμ μ·μμ λ°κ²¬λ μ¬μ λ₯Ό λ²μ£ νμ₯μμ λ°κ²¬λ μ¬μ μ λΉκ΅νκΈ° μν΄ μ¬μ λΆμμ μ¬μ©ν μ μμ΅λλ€. μ¬μ κ° μΌμΉνλ©΄ μ©μμλ₯Ό λ²μ£μ μ°κ²°νλ κ°λ ₯ν μ¦κ±°λ₯Ό μ 곡ν μ μμ΅λλ€.
3. μ¬λ£ κ³Όν
μ¬λ£ κ³Όνμμ μ¬μ λΆμμ λ€μμ μ¬μ©λ©λλ€:
- λ³΅ν© μ¬λ£ νΉμ± λΆμ: λ³΅ν© μ¬λ£μ κ΅¬μ± λ° κ΅¬μ‘° κ²°μ .
- κ³ μ₯ λΆμ: μ¬μ κ°ν μ¬λ£μ κ³ μ₯ μμΈ μ‘°μ¬.
- μ μμ¬ κ°λ°: κ°μ λ νΉμ±μ κ°μ§ μλ‘μ΄ μ¬μ λ° λ³΅ν© μ¬λ£ κ°λ°.
μμ: μ¬λ£ κ³Όνμλ€μ ν곡기 ꡬ쑰μ μ¬μ©λλ νμ μ¬μ κ°ν ν΄λ¦¬λ¨Έ 볡ν©μ¬μ κ³ μ₯μ μ‘°μ¬νκΈ° μν΄ μ¬μ λΆμμ μ¬μ©ν μ μμ΅λλ€.
4. νκ²½ λͺ¨λν°λ§
νκ²½ λͺ¨λν°λ§μμ μ¬μ λΆμμ λ€μμ μ¬μ©λ©λλ€:
- μλ©΄ κ²μΆ: 곡기 μ€ μλ©΄ μ¬μ λ₯Ό μλ³ λ° μ λν.
- μ¬μ νκΈ°λ¬Ό λΆμ: μ¬μ νκΈ°λ¬Όμ νκ²½μ μν₯ νκ°.
- λ―ΈμΈ νλΌμ€ν± μ€μΌ: λ¬Όκ³Ό ν μ μνμ λ―ΈμΈ νλΌμ€ν± μ¬μ μλ³ λ° μ λν.
μμ: νκ²½ κ³Όνμλ€μ 건물 λ΄ κ³΅κΈ°μ§μ λͺ¨λν°λ§νμ¬ μλ©΄ μ¬μ μ μ‘΄μ¬ μ¬λΆλ₯Ό νμΈνκΈ° μν΄ μ¬μ λΆμμ μ¬μ©ν μ μμ΅λλ€.
5. μμ ν 보쑴
μμ ν 보쑴μμ μ¬μ λΆμμ λ€μμ μ¬μ©λ©λλ€:
- μ¬μ μλ³: μμ¬μ μΈ μ§λ¬Ό, κ·Έλ¦Ό λ° κΈ°ν μ λ¬Όμ μ¬μ©λ μ¬μ μλ³.
- μΌλ£ λΆμ: μμ¬μ μΈ μ§λ¬Όκ³Ό κ·Έλ¦Όμ μΌμνλ λ° μ¬μ©λ μΌλ£ μλ³.
- 보쑴 μ²λ¦¬ κ³ν: μμ νμ μ¬μ©λ μ¬λ£λ₯Ό μ΄ν΄νμ¬ λ³΄μ‘΄ λ° λ³΅μ λ Έλ ₯μ μ 보 μ 곡.
μμ: μμ ν 보쑴κ°λ€μ μ²μλ μ리 μμ μ μννκΈ° μ μ μμ¬μ μΈ ννΌμ€νΈλ¦¬μ μ¬μ©λ μ¬μ λ₯Ό μλ³νκΈ° μν΄ μ¬μ λΆμμ μ¬μ©ν μ μμ΅λλ€.
μ¬μ λΆμμ μλ‘μ΄ λν₯
μ¬μ λΆμ λΆμΌλ μ¬μ μλ³ λ° νΉμ±νμ μ νμ±κ³Ό ν¨μ¨μ±μ ν₯μμν€κΈ° μν΄ μλ‘μ΄ κΈ°μ μ΄ κ°λ°λλ©΄μ λμμμ΄ λ°μ νκ³ μμ΅λλ€. μ¬μ λΆμμ μλ‘μ΄ λν₯μλ λ€μμ΄ ν¬ν¨λ©λλ€:
- μλνλ μ¬μ λΆμ: κΈ°κ³ νμ΅κ³Ό μΈκ³΅ μ§λ₯μ μ¬μ©νμ¬ μ¬μ μλ³ λ° λΆλ₯ κ³Όμ μ μλν.
- μ΄λΆκ΄ μ΄λ―Έμ§: μ¬λ¬ νμ₯μ λΉμΌλ‘ μ¬μ μ΄λ―Έμ§λ₯Ό μΊ‘μ²νμ¬ ννμ μ‘°μ±κ³Ό ꡬ쑰μ λν μμΈ μ 보 νλ.
- λλ Έμ€μΌμΌ μ¬μ λΆμ: TEM λ° AFMκ³Ό κ°μ κ³ κΈ νλ―Έκ²½ κΈ°μ μ μ¬μ©νμ¬ λλ Έμ€μΌμΌ μμ€μμ μ¬μ ꡬ쑰 κ²μ¬.
- ν΄λμ© μ¬μ λΆμ: νμ₯μμ μ μνκ³ μ¦κ°μ μΈ λΆμμ μν΄ μ¬μ©ν μ μλ ν΄λμ© μ¬μ λΆμ μ₯μΉ κ°λ°.
μ¬μ λΆμμ κ³Όμ
λ§μ μ₯μ μλ λΆκ΅¬νκ³ μ¬μ λΆμμ λͺ κ°μ§ κ³Όμ λ₯Ό μ μν©λλ€:
- μλ£ μ€λΉ: νλ―Έκ²½ κ²μ¬λ₯Ό μν΄ μ¬μ λ₯Ό μ€λΉνλ κ²μ μκ°μ΄ λ§μ΄ κ±Έλ¦¬κ³ μ λ¬Έ κΈ°μ μ΄ νμν μ μμ΅λλ€.
- μ¬μ μλ³: μλ €μ§μ§ μμ μ¬μ λ₯Ό μλ³νλ κ²μ νΉν μμλκ±°λ μ€μΌλ κ²½μ° μ΄λ €μΈ μ μμ΅λλ€.
- λ°μ΄ν° ν΄μ: μ¬μ λΆμ κ²°κ³Όλ₯Ό ν΄μνλ €λ©΄ λ€μν μ νμ μ¬μ νΉμ±μ λν μ² μ ν μ΄ν΄κ° νμν©λλ€.
- λΉμ©: μΌλΆ νλ―Έκ²½ λ° λΆκ΄ κΈ°μ μ λΉμ©μ΄ λ§μ΄ λ€ μ μμ΅λλ€.
μ¬μ λΆμμ μν λͺ¨λ² μ¬λ‘
μ¬μ λΆμμμ μ ννκ³ μ λ’°ν μ μλ κ²°κ³Όλ₯Ό 보μ₯νλ €λ©΄ λͺ¨λ² μ¬λ‘λ₯Ό λ°λ₯΄λ κ²μ΄ μ€μν©λλ€:
- μ μ ν μλ£ μμ§: λΆμν μ¬μ μ λνμ μΈ μλ£λ₯Ό μμ§ν©λλ€.
- μ μ€ν μλ£ μ€λΉ: μ¬μ© μ€μΈ νΉμ νλ―Έκ²½ κΈ°μ μ λν΄ ν립λ νλ‘ν μ½μ λ°λΌ μλ£λ₯Ό μ€λΉν©λλ€.
- μ μ ν νλ―Έκ²½ κΈ°μ : μ¬μ μ νκ³Ό μ°Ύκ³ μλ μ 보μ κ°μ₯ μ ν©ν νλ―Έκ²½ κΈ°μ μ μ νν©λλ€.
- νμ€νλ μ μ°¨: λ°μ΄ν° μμ§ λ° λΆμμ μν΄ νμ€νλ μ μ°¨λ₯Ό λ°λ¦ λλ€.
- νμ§ κ΄λ¦¬: κ²°κ³Όμ μ νμ±κ³Ό μ λ’°μ±μ 보μ₯νκΈ° μν΄ νμ§ κ΄λ¦¬ μ‘°μΉλ₯Ό μνν©λλ€.
- μ μ ν λ¬Έμν: μλ£ μ€λΉ, λ°μ΄ν° μμ§ λ° λΆμ μ μ°¨μ λν μμΈν κΈ°λ‘μ μ μ§ν©λλ€.
- μ λ¬Έκ° μλ¬Έ: νμν λ μλ ¨λ μ¬μ λΆμκ°μ μλ΄ν©λλ€.
κ²°λ‘
νλ―Έκ²½μ μ΄μ©ν μ¬μ λΆμμ λ€μν μ°μ λΆμΌμ μμ©λλ λ€μ¬λ€λ₯νκ³ κ°λ ₯ν κΈ°μ μ λλ€. μ¬μ λΆμμ μ리, κΈ°μ λ° μμ©μ μ΄ν΄ν¨μΌλ‘μ¨ μ λ¬Έκ°λ€μ μ΄ λ°©λ²μ νμ©νμ¬ μ¬μ μ ꡬμ±, ꡬ쑰 λ° νΉμ±μ λν κ·μ€ν ν΅μ°°λ ₯μ μ»μ μ μμΌλ©°, μ΄λ νμ§ κ΄λ¦¬, λ²μν μ‘°μ¬, μ¬λ£ κ°λ°, νκ²½ λͺ¨λν°λ§ λ° μμ ν 보쑴 λ Έλ ₯μ ν₯μμν΅λλ€. κΈ°μ μ΄ κ³μ λ°μ ν¨μ λ°λΌ μ¬μ λΆμμ 볡μ‘ν λ¬Έμ λ₯Ό ν΄κ²°νκ³ μ μΈκ³μ μΌλ‘ κ³Όν μ§μμ λ°μ μν€λ λ° ν¨μ¬ λ ν° μν μ ν κ²μ λλ€. μ΄ κΈ°μ μ μμ‘΄νμ¬ νμ§μ μ μ§νκ³ μμ μ 보μ₯νλ©° νμ μ μ£Όλνλ μ°μ μμλ μ¬μ λΆμκ³Ό κ΄λ ¨λ κ΅μ‘ λ° μμμ ν¬μνλ κ²μ΄ νμμ μ λλ€.
μ΄ μ’ ν© κ°μ΄λλ μ¬μ λΆμμ μ΄ν΄νκΈ° μν κΈ°μ΄λ₯Ό μ 곡ν©λλ€. μ΄ μ€μν κΈ°μ μ λ§μ€ν°νλ €λ μ¬λλ€μκ²λ μΆκ°μ μΈ μ°κ΅¬μ μ€μ κ²½νμ΄ κΆμ₯λ©λλ€.